用传统的真空沉积金属薄膜填充沟槽，会在沟槽内形成空腔。建议使用含金属的液体来填充沟槽。沟槽内充满了含金属的液体溶液。然后将该结构加热到足以使的繁體中文翻譯

用传统的真空沉积金属薄膜填充沟槽，会在沟槽内形成空腔。建议使用含金属的

用传统的真空沉积金属薄膜填充沟槽，会在沟槽内形成空腔。建议使用含金属的液体来填充沟槽。沟槽内充满了含金属的液体溶液。然后将该结构加热到足以使金属化合物在液体溶液中热分解并去除溶剂的温度。美国专利日期:1993年5月25日
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用傳統的真空沉積金屬薄膜填充溝槽，會在溝槽內形成空腔。<br>建議使用含金屬的液體來填充溝槽。<br><br>溝槽內充滿了含金屬的液體溶液。然後將該結構加熱到足以使金屬化合物在液體溶液中熱分解並去除溶劑的溫度。<br><br>美國專利日期:1993年5月25日
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用傳統的真空沉積金屬薄膜填充溝槽，會在溝槽內形成空腔。<br>建議使用含金屬的液體來填充溝槽。<br>溝槽內充滿了含金屬的液體溶液。然後將該結構加熱到足以使金屬化合物在液體溶液中熱分解並去除溶劑的溫度。<br>美國專利日期：1993年5月25日<br>
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